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    CS330质量流量控制器&流量计

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    CS330质量流量控制器&流量计

    CS330产品是七星华创流量计新研发的高端数字型产品,最高流量可达200SLM氮气,并可实现数字/模拟控制模式;产品采用了新型全金属密封结构形式、大流量、低压损电磁调节阀、以及先进的人工智能机器人金属表面抛光技术,可用于测量各种气体的流量,包括惰性气体、强腐蚀性气体、易燃易爆等危险性气体。产品具备精度高、响应速度快、低零漂、低温漂性能等优点,并支持DeviceNet,RS485通讯协议。
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    产品描述
    参数

    优势

    • 新型的金属密封结构形式。该密封结构形式具有密封可靠、装配工艺简单、耐腐蚀等优势,广泛适用于各类气体流量的测量。
    • 体积小、零漂小、抗干扰能力强的传感器。该传感器采用上、下游对称性结构设计,从而保证了传感器的零漂小;传感器内部设有保温棉,极大程度降低了环境温度对传感器的影响,从而提高了传感器的抗干扰能力,确保了气体流量检测的精度。
    • 先进的人工智能机器人表面抛光技术。CS330系列产品金属表面粗糙度可达0.1RA,严格按照SEMI标准生产制造。
    • CS330系列产品支持±8V~±16V双电源或者+14V~+28V单电源供电;支持数字,模拟输入输出。
    • CS330系列产品支持多种电气接口,包括DB9、DB15、DeviceNet(侧部、顶部);支持RS485,DeviceNet通讯方式。

    技术参数

    CS330C、D

    类型

    CS330C、D

    阀类型

    常闭

    流量规格(N2)

    (100,200) SLM

    准确度

    ±1.0% S.P. (>35% F.S.)      ±0.35% F.S. (≤35% F.S.)

    线性

    ±0.5% F.S.

    重复精度

    ±0.2% F.S.

    响应时间

         ≤ 1 sec

    工作压差范围

    100 ~ 300  KPa (50<F≤100SLM)
    200 ~ 300  KPa (100<F≤200SLM)

    温度系数

    零点: ≤±0.02% F.S./℃;调节时:≤±0.1% F.S./℃

    最大工作压差

    0.45 MPa

    耐压

    1 MPa  (435pisg)

    漏率

    5 x 10-12 Pa·m3/ sec He (5 x 10-11 atm.cc/sec He)

    密封材料

    金属

    工作环境温度

    (0~50)℃

    输入信号

    数字: RS485或 DeviceNetTM
    模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA

    输出信号

    数字:RS485或 DeviceNetTM
    模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA

    零漂

    在没有零点校正时<0.6%F.S./年

    电源

    ±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28VDC (单极)

    表面化学成分

    常态

    标准接头形式

    VCR 1/2´´

    电源接头形式

    D型9针阳接头;D型15针阳接头;DeviceNet 接头

    重量

    2.6 Kg

    1.5 Kg

     

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    • SC185 CS330D 中文使用手册2022.3(不涉密).pdf

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      2022-03-21 16:00:30
    • SC183 CS330C 中文使用手册2022.3(不涉密).pdf

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      2022-03-21 15:59:30
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