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    CS100质量流量控制器&流量计

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    1000

    CS100质量流量控制器&流量计

    CS100产品是基于七星流量计CS系列产品技术平台开发,在拥有恒功率传感器技术,数字传感器平衡技术,VCP线控制技术的基础上,采用客户定制化设计,客户可根据需要选用符合自身需求的产品,同时其独创的客户零点补唯功能(CGC),能够解决由于客户地线连接导致的MFC精度不准问题,使产品更好的适应客户环境。
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    数量
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    +
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    0
    产品描述
    参数

    优势

    • CS100产品采用客户定制化设计,
    • 客户可根据需要选用±15V双电源或+24单电源供电;
    • 金属密封或橡胶密封;
    • 产品尺寸可选用符合国际通用的SEMI标准的产品,也可选用紧缩型产品。

    技术参数

    CS100

    类型

    CS100A

    CS100D

    阀类型

    常闭

    常闭

    流量规格(N2)

    (0~10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
    (0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

    (0~10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
    (0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

    准确度

    ±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.)

    线性

    ±0.5% F.S.

    重复精度

    ±0.2% F.S.

    响应时间

    ≤ 1sec

    工作压差范围

    0.05~0.35MPa; 流量规格≤10SLM
    0.1~0.35MPa ; 10<流量规格≤30SLM
    0.25~0.45MPa ; 30<流量规格≤50SLM

    <0.02 MPa

     

    0.05~0.35MPa; 流量规格≤10SLM
    0.1~0.35MPa;10<流量规格≤30SLM

    <0.02 MPa

    温度系数

    零点: ≤±0.05% F.S/℃;   调节时: ≤±0.1% F.S/℃

    耐压

    3MPa

    10MPa

    3MPa

    10MPa

    漏率

    1×10-9 Pa·m3 / sec He(1×10-8 atm·cc / sec He)

    密封材料

    氟橡胶

    金属密封

    最大工作压力

    0.45MPa

    工作环境温度

    (5~45)℃

    输入信号

    模拟:
    (0~5)VDC

    数字: RS485

    模拟:
    (0~5)VDC

    数字: RS485

    输出信号

    模拟:
    (0~5)VDC

    数字: RS485

    模拟:          (0~5)VDC

    数字: RS485

    模拟:
    (0~5)VDC

    数字: RS485

    模拟:
    (0~5)VDC

    数字: RS485

    电源接头形式

    D型9针
    阳接头;

    D型15针
    阳接头

    D型9针
    阳接头;

    O型3针
    阳接头

    D型15针
    阳接头

    D型9针
    阳接头;

    D型15针
    阳接头

    D型9针阳接头;

    O型3针阳接头

    D型15针阳接头

    D型9针
    阳接头;

    D型15针
    阳接头

    D型9针
    阳接头;

    O型3针
    阳接头

    D型15针
    阳接头

    D型9针
    阳接头;

    D型15针
    阳接头

    D型9针阳接头;

    O型3针阳接头

    D型15针阳接头

    供电电源

    ±15V

    ±15V

    +24V

    ±15V

    ±15V

    +24V

    ±15V

    ±15V

    +24V

    ±15V

    ±15V

    +24V

    自动清零

    支持

    表面粗糙度

    25μinch Ra

    标准接头形式

    双卡套 φ6; 双卡套φ3;双卡套1/4´´;双卡套1/8´´;

    VCR1/4´´阳接头;

    φ6(内)x1软管接头;φ5(内)x1.5软管接头;φ4(内)x1软管接头

    VCR1/4″阳接头

    重量

    1.2Kg

    1Kg

    1.2Kg

    1Kg

     

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    • SC171 CS100D 中文使用手册2020.7.pdf

      大?。?/span>
      2020-12-03 09:42:26
    • SC169 CS100A 中文使用手册2020.7.pdf

      大?。?/span>
      2020-12-03 09:43:58
    • Digital_MFC_Tools V1.09...zip

      大?。?/span>
      2021-07-19 17:20:33
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