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    CS200质量流量控制器&流量计

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    CS200质量流量控制器&流量计

    CS200气体质量流量控制器,采用先进传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内,CS200C产品最快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化,所需流量更加精准。
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    产品描述
    参数

    优势

    • 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。

    • CS200C产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。

    • CS200产品严格按照SEMI标准生产制造,尺寸符合国际通用的SEMI标准。

    • CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。

    • 产品支持RS485,DeviceNet通讯方式。

    • 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。

    技术参数

    CS200

    类型

    CS200-A

    CS200-C

    CS200-D

    阀类型

    ???100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)

    或常闭

    ???100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)

    或常闭

    ???100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)

    或常闭

    流量规格(N2)

    (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
    (0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

    (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
    (0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

    准确度

    ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
    ±0.35% F.S.(<35% F.S.)

    线性

    ±0.5% F.S.

    重复精度

    ±0.2% F.S.

    响应时间

    ≤ 1sec

    ≤ 0.8sec

    工作压差范围

    0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
    0.1~0.35MPa 10<流量规格≤30SLM
    0.2~0.45MPa 30<流量规格≤50SLM

    <0.02 MPa

    0.05~0.35MPa
    流量规格≤10SLM
    0.1~0.35MPa
    流量规格>10SLM

    <0.02 MPa

    0.05~0.35MPa
    流量规格≤10SLM
    0.1~0.35MPa
    流量规格>10SLM

    <0.02 MPa

    最大工作压力

    0.45MPa

    温度系数

    零点: ≤±0.05% F.S./℃;
    调节时: ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM
    调节时: ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格>30SLM

    零点: ≤±0.02% F.S./℃;
    调节时: ≤±0.05% F.S./℃

    耐压强度

    3MPa

    漏率

    1×10-10 Pa·m3 / sec He

    1×10-11 Pa·m3 / sec He

    密封材料

    氟橡胶

    金属密封

    工作环境温度

    (5~45)℃

    (0~50)℃

    输入信号

    数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
    模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA

    数字: RS485
    或DeviceNet
    或 ProfiBus
    模拟:(0~5)VDC
    或(4~20)mA
    或(0~20)mA

    数字: RS485
    或DeviceNet
    或 ProfiBus
    模拟:(0~5)VDC
    或(4~20)mA
    或(0~20)mA

    输出信号

    数字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
    模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA

    零漂

    在没有零点校正时<0.6%F.S./年

    电源

    ±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极)

    表面化学成分

    常态

    Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 (埃)

    常态

    表面粗糙度

    25 Ra

    10 Ra

    25 Ra

    标准接头形式

    双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´;VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3;
    双卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头;
    φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm;A 型密封接头;

    双卡套φ3;双卡套φ6;双卡套 1/4;VCR1/4 阳接头;
    1.5´´C 型密封接头;1.5´´ W型密封接头

    电源接头形式

    D 型 9 针阳接头;D 型 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头

    重量

    1 Kg

    0.8Kg

    1.2Kg

    1Kg

    1.2Kg

    1Kg

     

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    • Digital_MFC_Tools V1.09...zip

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      2021-07-19 17:20:33
    • SC143 CS200D 中文使用手册2021.5.pdf

      大?。?/span>
      2021-06-04 17:16:32
    • SC139 CS200A 中文使用手册2021.5.pdf

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      2021-06-04 17:15:33
    • SC141 CS200C 中文使用手册2021.5.pdf

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      2021-06-04 17:15:33
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